Информация об авторе

Мяконьких, А. В.

Выпуск	Раздел	Название	Файл
Том 53, № 1 (2024)	ТЕХНОЛОГИИ	Применение спектральной эллипсометрии для диэлектрических, металлических и полупроводниковых пленок в технологии микроэлектроники
Том 53, № 1 (2024)	ТЕХНОЛОГИИ	Параметры и состав плазмы в смеси CF₄ + H₂ + Ar: эффект соотношения CF₄/H₂
Том 52, № 4 (2023)	ТЕХНОЛОГИИ	Механизмы перераспределения углеродных загрязнений в пленках, сформированных методом атомно-слоевого осаждения
Том 53, № 6 (2024)	ДИАГНОСТИКА	Состав газовой фазы и кинетика атомов фтора в плазме SF₆